本书以作者攻读博士学位期间承担相关课题的工作为基础，围绕飞秒激光微器件制备质量优化中的若干问题，系统阐述了像差补偿、加工光斑三维整形以及扫描步距优化等方面的理论与实验研究。全书共分为七章，内容包括飞秒激光微加工领域国内外研究的现状、飞秒激光双光子微加工机理及系统、空气和被加工材料折射率不同对微加工的影响及其补偿方法、飞秒激光微加工焦点光斑的三维整形、扫描步距对微器件表面质量的影响及其优化方法等。本书适合从事飞秒激光微加工研究的工程技术人员和科研人员使用和参考。

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